空冷式六段根式工藝生產(chǎn)用油旋轉(zhuǎn)真空泵

空冷式六段根式工藝生產(chǎn)用油旋轉(zhuǎn)真空泵

FT6-36P · LED 生產(chǎn)工藝專用

六段 Root + 油旋片復(fù)合 · 空冷 · 無(wú)冷卻水
250 m3/h · 極限 6.7×10?2 Pa · 重量 230 kg · 可并排

一、產(chǎn)品定位

• LED 生產(chǎn)工藝：
• MOCVD 前級(jí)（GaN 外延）
• 濺射 & 離子鍍
• 高亮度芯片干刻
• 空冷六段根式：無(wú)冷卻水，并排安裝，產(chǎn)線無(wú)需水改
• 六段 Root + 油旋片：復(fù)合抽氣，高抽速 + 低極限，適合大腔體快速抽真空

二、核心技術(shù)參數(shù)（FT6-36P）

三、功能亮點(diǎn)

1. 六段 Root 高抽速：250 m3/h，比同級(jí)雙段泵高 50 %，MOCVD 腔體 3 min 抽到 10 Pa
2. 空冷無(wú)水管：并排安裝，產(chǎn)線無(wú)需冷卻水改造
3. 6.7×10?2 Pa 極限：滿足 MOCVD、濺射、離子鍍工藝背壓要求
4. 硬陽(yáng)極 Root 轉(zhuǎn)子：耐 GaN 粉塵、耐金屬飛濺，壽命 30,000 h
5. 強(qiáng)制油循環(huán)：高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行，油溫 <70 ℃
6. 65 dB 靜音：比水冷泵低 10 dB，潔凈室旁運(yùn)行不擾人

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

MOCVD 反應(yīng)室 300 mm┌─ 反應(yīng)室 ─┐│           │進(jìn)口← FT6-36P ← 粉塵過(guò)濾器（可選）│           │└─ 回大氣 ──┘

• 泵進(jìn)口接反應(yīng)室，3 min 抽到 10 Pa，滿足 GaN 外延工藝
• 粉塵過(guò)濾器捕集 GaN 微粒，延長(zhǎng)泵壽命

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（MOCVD 驗(yàn)證）

• 反應(yīng)室 300 mm，室溫 25 ℃
• FT6-36P 50 Hz 運(yùn)行：
• 1 min 達(dá)到 100 Pa
• 3 min 達(dá)到 10 Pa
• 極限 6.7×10?2 Pa
• 連續(xù) 24 h 油溫 <65 ℃，無(wú)冷卻水

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 油更換：每 3,000 h 或 1 年
• Root 轉(zhuǎn)子：硬陽(yáng)極氧化，壽命 30,000 h，免維護(hù)
• 粉塵過(guò)濾器：每月清理一次
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論