產品資料
電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵
產品名稱: 電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵
產品型號: LEH30MS
產品特點: 電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵無油、單級、水封、緊湊型 —— 實驗室 & 分析儀器 front-end 標準一、產品定位水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導體前道電機直聯：無皮帶，免維護，體積比傳統水環泵小 40%緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實驗臺下方單級水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適
電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵 的詳細介紹
電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵
電機直聯緊湊型水封式自冷卻真空泵
無油、單級、水封、緊湊型 —— 實驗室 & 分析儀器 front-end 標準
一、產品定位
- 水封式無油：使用去離子水作密封液，零油霧，適合激光、電鏡、半導體前道
- 電機直聯：無皮帶，免維護，體積比傳統水環泵小 40%
- 緊湊型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在實驗臺下方
- 單級水封：極限真空 33 mbar（abs），飽和水蒸氣 20 mbar，適合含水/有機溶劑樣
二、核心技術參數（LEH30MS）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 單級水封式（liquid ring）+ 電機直聯 |
| 極限真空 | 33 mbar（abs） @ 20 °C 水 |
| 抽速 | 50 Hz：28 m3/h (0.47 m3/min) |
| 水封流量 | 0.9 L/min（去離子水，電導 <5 µS/cm） |
| 噪音 | ≤ 55 dB(A) @ 50 Hz（1 m） |
| 振動 | < 2.5 mm/s（無需減振墊） |
| 介質 | 空氣、N?、Ar、水蒸氣、有機溶劑蒸氣 |
| 材質 | 泵體 SUS304，葉輪 316L，軸封 PTFE |
| 進水壓力 | 0.1-0.3 MPa（自來水或去離子水） |
| 排水 | 重力自流，無泵 |
| 進氣口 | DN25（寶塔 Φ25 mm，可轉 NW25） |
| 電源 | 三相 200 V 50/60 Hz，0.9 kW |
| 尺寸/重量 | 376×185×280 mm，23 kg |
三、功能亮點
- 33 mbar 無油真空：比油旋片更潔凈，適合電鏡、激光腔排氣
- 水封自冷卻：連續運行 24h 泵體 <40℃，無需額外冷卻水
- 可處理水/有機蒸氣：水封液稀釋冷凝液，無乳化問題
- 電機直聯：無皮帶，免維護；轉速 2800 rpm，振動 <2.5 mm/s
- 緊湊型 23 kg：實驗臺下方即可安裝，節省空間
- 一鍵排水：停機后打開排水閥，自動排空泵腔，防止水垢
四、典型應用系統圖
激光器腔體┌─── 腔體 ───┐│ │進氣← LEH30MS ← 水汽冷凝器（可選）│ │└─── 回大氣 ──┘- 泵進口接激光腔，出口接冷凝器回收溶劑
- 水封液 0.9 L/min 循環使用，每周更換一次
五、實測數據（實驗室驗證）
- 電鏡腔體 50 L，室溫 25 ℃
- LEH30MS 50 Hz 運行：
- 2 min 達到 50 mbar
- 5 min 極限 33 mbar
- 連續 8 h 水封溫升 <8 ℃，無乳化
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| LEH30MS-200 | 三相 200 V 50/60 Hz 標準型 |
| LEH30MS-DI | 去離子水套件（水箱+流量計） |
| LEH30MS-COND | 溶劑冷凝器（回收乙醇、丙酮） |
| LEH30MS-NW25 | NW25 快接法蘭套件 |
七、維護與可靠性
- 水封液：每周更換，防止水垢（電導 <5 µS/cm）
- 進氣濾網：每月清洗一次
- 葉輪：無磨損，壽命 >20 000 h
- 無油設計，無需換油或處理廢油
八、結論
KASHIYAMA LEH30MS 以「33 mbar 無油真空 + 水封自冷卻 + 23 kg 緊湊 + 55 dB 靜音」四合一設計，讓電鏡、激光、半導體前道獲得「潔凈、緊湊、免維護」的真空源，是實驗室水封真空泵的「臺式標準機」
相關產品
產品目錄
聯系我們
在線客服