實(shí)驗(yàn)室用超純氣體中氮雜質(zhì)濃度分析計(jì)裝置
實(shí)驗(yàn)室用超純氣體中氮雜質(zhì)濃度分析計(jì)裝置
| 特性 | 說(shuō)明 |
|---|---|
| 測(cè)量原理 | 基于等離子體發(fā)射光譜法(Plasma Emission Spectroscopy),通過(guò)高頻高壓電離氣體,激發(fā)氮原子發(fā)射特征光譜(約 337 nm ± 2 nm),實(shí)現(xiàn)非放射性、高靈敏度檢測(cè)。 |
| 測(cè)量范圍 | 典型量程為 0~10 ppm 或 0~100 ppm,可定制更低濃度。 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | T90 ≤ 30 秒,屬于高速響應(yīng)型,適合在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 |
| 檢測(cè)精度 | ±2% FS/24h 穩(wěn)定性,1%重復(fù)性,適用于微量級(jí)氮?dú)鈾z測(cè)。 |
| 樣氣條件 | 溫度:10~40℃,流量:50~150 mL/min,壓力:30~70 kPa,需避免含塵、含水或其他雜質(zhì)氣體(如 O?、CH?、H?、CO)。 |
| 特性 | 說(shuō)明 |
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| 測(cè)量原理 | 基于等離子體發(fā)射光譜法(Plasma Emission Spectroscopy),通過(guò)高頻高壓電離氣體,激發(fā)氮原子發(fā)射特征光譜(約 337 nm ± 2 nm),實(shí)現(xiàn)非放射性、高靈敏度檢測(cè)。 |
| 測(cè)量范圍 | 典型量程為 0~10 ppm 或 0~100 ppm,可定制更低濃度。 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | T90 ≤ 30 秒,屬于高速響應(yīng)型,適合在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 |
| 檢測(cè)精度 | ±2% FS/24h 穩(wěn)定性,1%重復(fù)性,適用于微量級(jí)氮?dú)鈾z測(cè)。 |
| 樣氣條件 | 溫度:10~40℃,流量:50~150 mL/min,壓力:30~70 kPa,需避免含塵、含水或其他雜質(zhì)氣體(如 O?、CH?、H?、CO)。 |
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