半導體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
產(chǎn)品名稱: 半導體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點: 半導體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥旋泵專用 · 電磁瞬時關斷 · 零油逆流 · 緊湊 A5 尺寸響應 < 10 ms · 壽命 10? 次 · 真空污染一、產(chǎn)品定位旋泵專用:油旋片泵、活塞泵、滑閥泵停機瞬間防止油霧逆流電磁瞬時關斷:< 10 ms 響應,斷電即鎖死,真空腔零油污染緊湊型:A5 紙尺寸,可直接貼泵體安裝,不額外占地零油逆流:真空側(cè)保持潔凈,適合分析、半導體、實驗室
半導體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥 的詳細介紹
半導體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
半導體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
旋泵專用 · 電磁瞬時關斷 · 零油逆流 · 緊湊 A5 尺寸
響應 < 10 ms · 壽命 10? 次 · 真空側(cè)
一、產(chǎn)品定位
旋泵專用:油旋片泵、活塞泵、滑閥泵停機瞬間防止油霧逆流
電磁瞬時關斷:< 10 ms 響應,斷電即鎖死,真空腔零油污染
緊湊型:A5 紙尺寸,可直接貼泵體安裝,不額外占地
零油逆流:真空側(cè)保持潔凈,適合分析、半導體、實驗室真空系統(tǒng)
二、核心技術(shù)參數(shù)(AYUMI 電磁真空閥)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|
| 原理 | 常閉電磁閥 + 真空兼容密封 |
| 響應時間 | < 10 ms(斷電→鎖死) |
| 壽命 | >10? 次(真空切換) |
| 密封材質(zhì) | FKM + 不銹鋼 316L(真空側(cè)) |
| 真空度 | 1×10?3 Pa → 大氣壓(全范圍) |
| 泄漏率 | < 1×10?? Pa·m3/s(氦檢) |
| 接口 | 寶塔 Φ8 mm(可轉(zhuǎn) NW16/NW25) |
| 電源 | DC 12 V / 24 V(可選),功率 3 W |
| 尺寸/重量 | 148×105×32 mm,0.28 kg |
| 環(huán)境溫度 | -10 – 60 ℃(無凝露) |
| 認證 | CE / RoHS / REACH |
三、功能亮點
< 10 ms 瞬時關斷:斷電瞬間鎖死,零油霧逆流,真空腔無油污染
>10? 次壽命:真空專用電磁線圈,連續(xù)開關無磨損
全真空范圍:1×10?3 Pa → 大氣壓,不卡死、不漏氣
A5 緊湊尺寸:貼泵體安裝,不額外占地,適合小型泵
真空側(cè):316L + FKM,無油潤滑,Class 100 兼容
DC 12 V / 24 V 可選:直接接泵電源,無需額外變壓器
四、典型應用接線圖
旋片泵 + AYUMI 電磁閥┌─ 真空腔 ─┐│ │進口← 電磁閥 ← 旋片泵│ │└─ 回大氣 ──┘
五、實測數(shù)據(jù)(實驗室驗證)
旋片泵 2 L/min,斷電測試 100 次
AYUMI 電磁閥:
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|
| AYUMI-VAC-12 | DC 12 V 型 |
| AYUMI-VAC-24 | DC 24 V 型 |
| AYUMI-NW16 | NW16 快接法蘭套件 |
| AYUMI-DC24-PWR | 24 V 電源適配器(可選) |
七、維護與可靠性
電磁線圈:真空專用,壽命 >10? 次,免維護
密封圈:FKM,壽命 >5 年,可更換
閥體:316L,無磨損,年漂移 < 0.5 %
整機 2 年質(zhì)保,10 年配件保障
八、結(jié)論
AYUMI 電磁式真空閥以「< 10 ms 瞬時關斷 + >10? 次壽命 + 全真空范圍 + A5 緊湊」四合一設計,讓旋片泵停機瞬間獲得「零油逆流、真空保持」清潔真空,是緊湊型電磁真空閥的「防逆流標準機」