二流體噴嘴在全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中發(fā)揮重要作用，主要用于去膠單元，采用高壓柱狀或扇狀噴嘴對(duì)晶圓表面的金屬和光刻膠進(jìn)行去除。這種噴嘴通過(guò)高速空氣將液體擊碎，使液體粒徑變小，提高液體噴射效率，從而實(shí)現(xiàn)去除光刻膠的目的。此外，二流體噴嘴在晶圓清洗中的應(yīng)用，利用壓縮空氣與清洗液混合，通過(guò)特殊設(shè)計(jì)的噴頭，以高速噴射出微米級(jí)的精細(xì)霧滴。這種的二流體噴射方式，能夠在晶圓表面產(chǎn)生高效的物理沖擊與化學(xué)作用，從而去除光刻膠。設(shè)備可搭載槽式浸泡單元、高壓噴淋或二流體噴淋去膠單元、清洗及干燥單元等工藝模塊，滿足各種品牌型號(hào)、各種厚度的正負(fù)性光阻去除及金屬剝離等工藝。